5 Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины, пл. Свободы, 6, 61022 Харьков, Украина. (Получено 28.05.2016 опубликовано online 03.10.2016).


Чтобы посмотреть этот PDF файл с форматированием и разметкой, скачайте файл и откройте на своем компьютере.
Ж УРНАЛ НАНО - ТА ЕЛЕКТРОННОЇ ФІЗИК И J OURNAL OF N ANO - AND E LECTRONIC P HYSICS Том 8 № 3 , 0 3 0 4 5 ( 6 cc) ( 2016 ) Vol. 8 No 3 , 0 3 0 4 5 ( 6 pp) ( 2016 ) 2077 - 6772/2016/8(3) 0 3 0 4 5 ( 6 ) 0 3 0 4 5 - 1  2016 Сумський державний університет Многослойные нитридные покрытия (TiZrNbHf)N/MoN Д.А. Колесников 1 , У.С. Немченко 2 , В.М. Береснев 2 , О.В. Соболь 3 , В.А. Новиков 1 , С.В. Литовченко 2 , В.А. Столбовой 4 , И.Ю. Гончаров 1 , П.В. Турбин 5 , Л.В. Маликов 5 1 Белгородский государственный национальный иссл едовательский университет, ул. Победы, 85, 308015 Белгород, Российская Федерация 2 Харьковский национальный университет имени В.Н. Каразина пл. Свободы, 4, 61022 Харьков, У к раина 3 Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт », ул. К и рп и ч е ва, 21, 61002 Харьков, Украина 4 Национальный научный центр «Харьковский физико - технический институт», ул. Академическая, 1, 61108 Харьков, Украина 5 Научный физико - технологический центр МОН и НАН Украины, пл. Свободы, 6, 61022 Харьков, Укра и на (Получено 28.05.2016; опубликовано onine 03.10.2016) Показано, что при невысоком отрицательном потенциале смещения, подаваемом на подложку при осаждении (U см менее 150 В), в многослойных покрытиях с толщиной слоев около 50 нм можно д о- стичь двухфазног о состояния с преимущественной ориентацией кристаллитов. Это обуславливает в ы- сокую твердость (до 59 ГПа) и одновременно высокую адгезионную прочность (критическая нагрузка достигает 124,9 Н). Наблюдается низкий износ покрытия при взаимодействии с контртело м из A 2 O 3 . Ключевые слова: Вакуумно - дуговое осаждение, Высокоэнтропийные сплавы, Многослойные ни т- ридные покрытия, Физико - механические свойства покрытий DOI: 10.21272/jnep.8(3).03045 PACS numbers: 61.46. – w, 62.20.Qp, 62 - 65. – g 1. ВВЕДЕНИЕ В последнее время значительное внимание уд е- ляется разработке и исследованию многослойных защитных покрытий с более совершенными механ и- ческими свойствами (в частности высокой твердо с- тью) и повышенной термическ ой стабильностью. Упомянутые покрытия формируются путем структ у- рной самоорганизации материалов [1, 2]. Совершенства свойств указанных композиций можно достигнуть путем формирования покрытий в нанообласти с определенной архитектурой постро е- ния [3, 4]. Конст рукция многослойного покрытия, то есть общая толщина и толщина нанослоев, оказыв а- ет влияние на его механические свойства [5]. Бол ь- шое значение имеет поведение многослойных по к- рытий с разной толщиной слоев при высокотемпер а- турных испытаниях. В этой связи ак тивно развивается концепция со з- дания на основе высокоэнтропийных (или, называ е- мых в ряде работ многоэлементных) систем (ВЭС) нитридных и карбидных покрытий [6 - 9]. Среди в ы- сокоэнтропийных систем, демонстрирующих наиб о- лее высокие функциональные характеристик и, ос о- бое место занимают покрытия, созданные на о с нове ВЭС из сильных нитридообразующих элеме н тов, таких как титан, ниобий, цирконий, гафний. Таким образом, использование в качестве слоев нитридов высокоэнтропийных сплавов создает пре д- посылки для термическ ой стойкости пол у чаемого материала, что обусловлено процессом эл е ментно - структурного упорядочения в высокоэнтр о пийных многоэлементных сплавах при повышении темпер а- туры [10, 11]. Данная работа посвящена исследованию механ и- ческих характеристик многослойных п окрытий. В качестве слоев использовались покрытия на основе нитридов многоэлементного сплава (Ti - Zr - Nb - Hf) и переходного металла VI группы Mо. 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧА СТЬ Для нанесения многослойных покрытий изгото в- лен катод следующего состава: Ti – 30 ат. %; Zr – 30 ат. %; Nb – 25 ат. %, Hf – 15 ат. %. Катод спекался на установке искрового плазменного спекания SPS 25 - 10. Покрытия осаждались на установке «Ника» мет о- дом вакуумно - дугового осаждения из двух источн и ков. Первый источник – катод, изготовленный из че тыре х- компонентного сплава Ti - Zr - Nb - Hf (ВЭС). Второй к а- тод изготовлен из молибдена. В процессе формиров а- ния покрытий осуществлялось непрерывное вращ е- ние закрепленных образцов со скоростью 8,0 об/мин. Параметры осаждения приведены в табл. 1. Таблица 1 – Физ ико - технологические параметры осажд е- ния №, серии Покрытия I д , А U см , В P N , Торр 1 (TiZrNbHf)N/MoN 140/100 40 3  10 – 3 2 (TiZrNbHf)N/MoN 200/150 90 4  10 – 3 3 (TiZrNbHf)N/MoN 150/100 150 3  10 – 3 Элементный состава покрытий изучался с пом о- щью эл ектронно - ионно - сканирующего микроскопа Quanta 200 3D, топография поверхности исследов а- лась на Nowa NanoSEM 450. Исследование структ у- рно - напряженного состояния проводилось на дифр а- ктометрах Riaku Utima IV и Riaku Smart LAB в излучении Cu - K α (длина волны   0,154 нм). Для определения адгезионной прочности, стойкости к царапанию использовался скретч - тестер Revetest Д.А. К ОЛЕСНИКОВ , У.С. Н ЕМЧЕНКО , В . М . Б ЕРЕСНЕВ И ДР . Ж . НАНО - ЕЛЕКТРОН . ФІЗ . 8 , 0 3 0 4 5 ( 2016 ) 0 3 0 4 5 - 2 (CSM Instruments). Измерения микротвердости по к- рытий проводились на автоматизированном тверд о- мере AFFRI DM - 8 по методу микро - Виккерса. Триб о- тех нические испытания покрытий провод и лись по стандартной схеме «шарик - диск» на автоматизир о- ванном высокотемпературном трибометре Hih - Temperature Tribometer (CSM Instruments) с прим е- нением фактографического анализа бороздки износа покрытий и пятна износа на контртеле (ш а рик из корунда диаметром 6 мм). Испытания износостойк о- сти проведены на воздухе при нагрузке 6 Н, лине й- ной скорости 15 см/с, радиусом кривизны износа 5 мм и пути трения 1200 метров. Измерения гл у бины бороздок проводились в 4 диаметрально и орто гон а- льно противоположных областях образцов с пом о- щью автоматизированного прецизионного контак т- ного профилометра Surtronic 25 и определялись ср е- дние значения площади поперечного сечения и гл у- бины бороздки износа. 3. РЕЗУЛЬТАТЫ И ОБСУЖДЕ НИЕ Исследование морфо логии роста многослойных покрытий показало достаточно высокую их одноро д- ность и планарность при всех технологических п а- раметрах осаждения. Капельная неоднородность выявлялась на поверхности, что не приводило к с у- щественному нарушению планарности и средней толщины (см. рис. 1б). Толщина слоев составила п о- рядка 50 нм. Результаты рентгеновского микроанализа (EDX - метод) показали, что концетрация молибдена в покрытиях с увеличением потенциала смешения значительно падает: от 32.06 ат. % при потенциале смещения U c м  – 40 В до 15.23 ат. % при потенциале смещения U cм  – 90 В. В дальнейшем, с повышением потенциала смещения до U cм  – 150 В, концетрация молибдена повышается до 25,34 ат. % (см. табл. 2). а б Рис. 1 – Изображение покрытия системы (TiZrNbHf)N/Mo N, полученного при P N  3  10 – 3 Торр, U cм  – 90 В (серия 2): а – топография поверхности; б – бок о- вое сечение многослойного покрытия на по д ложке Повышение отрицательного потенциала смещ е- ния ( U см ) приводит к обеднению покрытия по легким атомам. Основной причиной этого является селект и- вное распыление легких атомов при осаждении с поверхности роста. Результаты рентгеновского фазового анализа свидетельствуют, что для всех режимов осаждения характерно образование фаз с кубической (ГЦК) кристаллической решетк ой, как в слоях на основе высокоэнтропийного сплава, так и в слоях на основе молибдена. В слоях на основе высокоэнтропийн о го сплава – это неупорядоченный твердый раствор (TiZrNbHf)N, с кристаллической решеткой структу р- ного типа NaC, в слоях си с темы Mo - N – это γ - Mo 2 N с таким же типом кристаллической решетки NaC, но меньшим периодом решетки, что проявлялось в смещении дифракционных пиков в сторону больших углов (см. рис. 2). При этом сходство структурных состояний в слоях на основе высокоэнтропийного сплава и нитридов переходных металлов, в частн о- сти МоN (близкое соотношение формируемых пр е- имущ е ственных ориентаций кристаллитов в слоях) свид е тельствует о взаимосвязи структуры слоев при их росте. Для покрытий системы (TiZrNbHf)N/MoN соотношение между атомным с одержанием Mo и м е- таллами второго слоя (TiZrNbHf) с увеличением U см практически не наблюдается, оставаясь по абсолю т- ной величине на уровне 51 - 53 ат. %. Влияние потенциала смещения и давление раб о- чей азотной атмосферы определяющим образом ск а- зываются на фаз овом составе и структурном состо я- нии покрытий. Подача высокого отрицательного потенциала U см  – 150 В приводит к повышению степени «ха о- тиз а ции» структуры (характерная при малых U см текстура, при больших значения U см не проявляе т- ся), а также к повышению ди сперсности кристалл и- М НОГОСЛОЙНЫЕ НИТРИДНЫ Е ПОКРЫТИЯ ( T I Z R N B H F ) N / M O N Ж. НАНО - Е ЛЕКТРОН . ФІЗ . 8 , 0 3 0 4 5 ( 2016 ) 0 3 0 4 5 - 3 ческих образований в слоях покрытий, что наиболее выражено для слоев  - Mo 2 N в которых с увеличен и ем U см сре д ний размер кристаллитов уменьшается от 54 нм до 37 нм. Это может быть связанно с дополнит е- льным образованием путей легкой диффуз ии при фо р мировании в приграничной области твердого раствора из атомов ВЭС и Mo в результате радиац и- онно - стимулированного перемешивания. Отжиг покрытий в вакууме при температуре 973 K, приводит к существенному изменению по с о- держанию атомов азота, титана и примесного кисл о- рода в покрытии, полученном при высоком потенц и- але смещения (cм. табл. 3). Таблица 2 – Элементный состав покрытий (TiZrNbHf)N/MoN Покрытия Серия U см , В Элементный состав, ат. % N Mo Ti Zr Hf Nb (TiZrNbHf)N/MoN 1 – 40 17,37 32,08 24 ,26 12,81 2,23 11,25 2 – 90 20,64 15,23 25,46 32,54 0,93 5,20 3 – 150 21,05 25,34 23,03 14,42 2,51 13,65 Таблица 3 – Элементный состав покрытий системы (TiZrNbHf)N/MoN после отжига Покрытия Серия U см , В Элементный состав, ат. % N Mo О Ti Zr Hf N b (TiZrNbHf)N/MoN 1 – 40 12,63 11,54 5,63 24,46 12,47 2,15 11,54 2 – 90 16,33 25,76 3,84 23,29 14,65 2,47 13,67 3 – 150 20,55 19,13 4,08 38,03 8,67 1,36 8,18 Рис. 2 – Участки рентгеновских дифракционных спектров образцов с покрытием системы (TiZ rNbHf)N/MoN, получе н- ного при P N  3  10 – 3 Торр: 1) U см  – 40 В (серия 1); 2) U см  – 90 В (серия 2) Результаты измерения твердости покрытий с и- стемы (TiZrNbHf)N/MoN приведены на рис. 3 Исходя из данных измерений, представленных на рис. 3, наибольшую тв ердость показывают покр ы- тия, осажденные при относительно невысоком пот е- нциале смещения и высокой концентрации цирк о- ния, титана и азота. Это связано с тем, что в равн о- весном состоянии мононитриды металлов характ е- ризуются способностью формирования фаз с неку б и- ческим типом кристаллической решетки, что, по - видимому, создает дополнительный барьер движ е- нию дислокаций на межфазной границе с имеющ и- ми кубическую решетку ВЭС нитридами и таким образом упрочняет материал. Причиной уменьшения твердости с повышением поте нциала смещения до U см  150 В является ус и- ление перемешивания в приграничной области, к о- то рое в тонких слоях (около 40 - 50 нм) приводит к высокой доли перемешанной области в состоянии тве р дого раствора и уменьшенной, в следствие этого, тв е рдостью (см. крив а я 1 на рис. 3). Рис. 3 – Изменение значения твердости покрытий (TiZrNbHf)N/MoN, полученных при U см  – 90 В, Р N  3  10 – 3 Торр : 1 – до отжига; 2 – после отжига Отжиг покрытий в вакууме при 973 K, получе н- ных при высоком потенциале смещения ( U см  – 150 В) не только не уменьшает твердости покрытия, но и вследствие упорядочения при пов ы- шенных температурах в высокоэнтропийных ни т- ридных сл о ях [9] наблюдается повышение твердости от 35 ГПа до 42 ГПа. Результаты скретч тестирования показывают, что наиболь шая величина давления до разрушения присуща покрытиям, полученным при не высоком значении U см  – 90 В и достигает значения L C5  124,9 Н (рис. 4). В качестве образцов для трибологических исп ы- таний выбраны образцы серий 1 и 2 (T i ZrNbHf)N/MoN, осажденного п ри разных знач е- ниях потенциала смещ е ния U см  – 40 В и U см  – 90 В. Снимки дорожек трения и контртел, получе н ных с помощью растровой электронной ми к- роскопии приведены на рис. 5. Результаты трибот е- хнических испытаний прив е дены в табл. 4. Д.А. К ОЛЕСНИКОВ , У.С. Н ЕМЧЕНКО , В . М . Б ЕРЕСНЕВ И ДР . Ж . НАНО - ЕЛЕКТРОН . ФІЗ . 8 , 0 3 0 4 5 ( 2016 ) 0 3 0 4 5 - 4 L C1 L C2 L C3 L C1  6,06 Н L C2  31,3 Н L C3  45,5 Н L C4  81,6 Н L C5  124,9 Н L C4 L C5 Рис. 4 – Изображение дорожек износа и значения критических нагрузок для покрытий системы (TiZrNbHf)N/MoN ( P N  3  10 – 3 Торр, U см  – 90 В) Таблица 4 – Трибологическ ие характеристики многослойного покрытия системы (TiZrNbHf)N/MoN при испытаниях по сх е ме «шарик – диск» № серии Коэффициент трения Интенсивность износа, мм 3 ×Н – 1 ×мм – 1 Примечание Контртело Образцы с покрытием Материал контртела 1 0.74 8.7  10 – 7 2.78  10 – 6 Al 2 O 3 2 0,83 2.24  10 – 6 3.9  10 – 6 Al 2 O 3 2 0.57 2.59  10 – 4 2.12  10 – 5 Сталь Ac100Cr6 Визуально дорожки трения (см. рис. 5а) характ е- ризуются отсутствием заусениц, сколов и радиал ь- ных трещин, что указывает на высокое качество п о- крыт ия и адгезионную прочность. Средняя ширина дорожки трения составляет в случае контртела из Al 2 O 3 величину 654,88 мкм (см. рис. 5б), а в случае контртела из стали Ac100Cr6 дорожка разното л- щинная и имеет неоднородный характер износа. Причиной такого неодноро дного характера явл я- ется налипание относительно мягкого и пластичного металла контртела на покрытие, что повышает фа к- тическую площадь воздействия и в дальнейшем тр е- ние происходит, по сути, в паре изношенного мета л- ла и металла контртела. С этим фактом связа но п о- нижение фиксируемого коэффициента трения и п о- вышение при этом износа стального шарика. При трении с контртелом из A 2 O 3 наблюдался равномерный абразивный износ трущейся пары с выносом продуктов износа и накоплением их по кр а- ям канавки (см. рис. 5а). С огласно результатам, приведенным в работе [12] количество перенесенного материала зависит от прочности адгезионной связи, которая, в свою оч е- редь, зависит от электронной структуры контртела на основе A 2 O 3 и многослойного покрытия и опред е- ляет возможность образовывать твердые растворы или интерметаллидные соединения друг с другом, а также стабильные при высоких температурах оки с- лы. С указанным выше связаны высокие значения коэффициента трения (см. образцы серии 2) при и с- пыт а ниях с контртелом из A 2 O 3 покрыт ий, в состав которых входит высокоэнтропийный нитрид (TiZrHfVNbTa)N [13]. Причиной такого неоднородного характера явл я- ется налипание относительно мягкого и пластичного металла контртела на покрытие, что повышает фа к- тическую площадь воздействия и в дальнейш ем тр е- ние происходит, по сути, в паре изношенного мета л- ла и металла контртела. С этим фактом связано п о- нижение фиксируемого коэффициента трения и п о- вышение при этом износа стального шарика. Покрытия системы ( TiZrNbHf)N/MoN обладают хо рошей износостойкостью : значения износа при об о- их типах контртел находятся в пределе (0,39 - 2,12)  10 – 5 мм 3  Н – 1  мм – 1 . Для контртела, изгот о- вленного из искусственного корунда A 2 O 3 , износ фи к- сируется не высокий 2,24  10 – 6 мм 3  Н – 1  мм – 1 (см. табл. 4). Для конт ртела, изготовленного из стали М НОГОСЛОЙНЫЕ НИТРИДНЫ Е ПОКРЫТИЯ ( T I Z R N B H F ) N / M O N Ж. НАНО - Е ЛЕКТРОН . ФІЗ . 8 , 0 3 0 4 5 ( 2016 ) 0 3 0 4 5 - 5 а б Рис. 5 – Изображение дорожек трения при испыт а ниях (по схеме «шарик – диск» с контртелом в виде шарика из A 2 O 3 и стали Ac100Cr6) многослойного покрытия системы ( TiZrNbHf)N/MoN а – с детализ а цией дорожек трения п о типу контртела; б – с опр е деленными средними размерами дорожек трения для контртел двух типов Ac100Cr6 (аналог ШХ15) износ во з растает на два порядка и составляет 2.59  10 – 4 мм 3  Н – 1  мм – 1 . Таким образом, достаточно высокая стойкость многослойны х покрытий системы ( TiZrNbHf)N/MoN на основе нитридов высок о энтропийных сплавов к различным типам по тверд о сти и вязкости контртел открывает хорошие перспе к тивы для использования таких покрытий в качестве защитных при компле к- сных воздействиях в условиях аб разивного и з носа. Покрытия являются перспективными в качестве защитных для пар трения деталей машин и при з а- щите рабочих поверхностей режущего инструмента, работающего в условиях высоких скоростей резания твердых и сверхтвердых материалов. 4. ВЫВОДЫ 1. М орф ология поверхности многослойных п о- крытий системы ( TiZrNbHf)N/MoN характеризуется до с таточно высокой однородностью и планарностью при всех технологических параметрах осаждения. 2. Показано, что для всех режимов осаждения мног о слойных покрытий системы ( TiZrN bHf)N/MoN характерно образование фаз с ГЦК кубической кр и- ста л лической решеткой в обоих слоях многослойных п о крытий. 3. Наиболее высокой твердости в 52 ГПа мног о- слойные покрытия системы ( TiZrNbHf)N/MoN дост и- гают при параметрах осаждения U см  – 90 В, Р N  3  10 – 3 Торр. 4. Результаты склерометрических исследований показывают, что наибольшая величина давления L C5  124,9 Н до разрушения присуща покрытиям системы ( TiZrNbHf)N/MoN, полученным при знач е- нии U см  – 90 В. 5. Отжиг многослойных покрытий в вакууме при 973 K, полученных при высоком потенциале смещ е- ния ( U см  150 В) способствует повышению тверд о сти покрытия вследствие упорядочения при повыше н- ных температурах в высокоэнтропийных нитридных слоях. 6 . Многослойные покрытия ( TiZrNbHf)N/MoN о б- ладают высокой износостойк о стью. Значения износа при использовании разных типов контртел (A 2 O 3 и стали Ac100Cr6) находятся в пределе (0,39 - 2,12)  10 – 5 мм 3  Н – 1  мм – 1 . Исследования выполнены при поддержке гранта Департамента внутренней и кадровой политики Б е- лг ородской области Российской Федерации, дог о вор № 11 - ГР от 13.04.2016 и при частичной финанс о вой поддержке Министерства образования и науки У к- раины по темам научно - исследовательских работ 0115 U 000477, 0115 U 003165 и 0115 U 003166. Д.А. К ОЛЕСНИКОВ , У.С. Н ЕМЧЕНКО , В . М . Б ЕРЕСНЕВ И ДР . Ж . НАНО - ЕЛЕКТРОН . ФІЗ . 8 , 0 3 0 4 5 ( 2016 ) 0 3 0 4 5 - 6 Багатошарові н ітридні покриття (TiZrNbHf)N/MoN Д.О. Колесніков 1 , У.С. Нємченко 2 , В.М. Береснєв 2 , О.В. Соболь 3 , В.А. Новіков 1 , С.В. Литовченко 2 , В.О. Столб о вой 4 , І.Ю. Гончаров 1 , П.В. Турбін 5 , Л.В. Маліков 5 1 Бєлгородський державний національний дослідницький університе т, вул. Перемоги, 85, 308015 Бє л город, Російська Федерація 2 Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, майдан Свободи, 4, 61022 Харків, Укр а їна 3 Національний технічний університет «Харківс ь кий політехнічний інститут», вул. Кирпичова , 21 , 61002 Х а рків, Україна 4 Національний науковий центр «Харківський фіз и ко - технічний інститут», вул. Академічна, 1 61108 Ха р ків, Україна 5 Науковий фізико - технологічний центр МОН та НАН України, майдан Свободи, 6, 61022 Харків, Україна Показано, що при невис окому негативному потенціалі зміщення, що подається на підкладинку при ос а дженні ( U см менше 150 В), в багатошарових покриттях з товщиною шарів близько 50 нм можна досягти двофазного стану з переважною орієнтацією кристалітів. Це обумовлює високу твердість (до 59 ГПа) і одночасно високу адгезійну міцність (критичне навантаження досягає 124,9 Н). Спостеріг а- ється низьке зношування покриття при взаєм о дії з контртілом із A 2 O 3 . Ключові слова: Вакуумно - дугове осадження, В исокоентро пійні сплави, Б агатошарові нітр идні по к- рит тя, Ф ізико - механічні властивості покриттів . Multilayer Nitride C oatings (TiZrNbHf)N/MoN D.A. Kolesnikov 1 , U.S. Nyemchenko 2 , V.M. Beresnev 2 , O.V. Sobol  3 , V.A. Novikov 1 , S.V. Lytovchenko 2 , V.A. Stolbovoi 4 , I.Yu. Goncharov 1 , P.V. Turbin 5 , L.V. M alikov 5 1 Belgorod State National Research University, 85 , Peremohy s t., 308015 Belgorod, Russia 2 V.N. Karazin Kharkiv National University, 4 , Svobody s q., 61022 Kharkiv, Ukraine 3 Nationa Technica University «Kharkiv Poytechnic Institute», 21 , Kyrpyc hova s t., 61002 Kharkiv, Ukraine 4 Nationa Science Center «Kharkiv Institute of Physics and Technooy», 1 , Akademichna s t., 61108 Kharkiv, Ukraine 5 Science Center of Physics and Technology of MES and NAS of Ukraine, 6 , Svobody s q., 61022 Kharkiv, Ukrain e It is shown that at low negative bias potential applied to the substrate during the deposition (U b lesser than 150 V), a two - phase state with the preferred orientation of crystallites can be reached for the mult i- layer coatings with the thickness of laye rs of 50 nm. This causes high hardness (up to 59 GPa) and high adhesion strength at the same time (critical load reaches 124.9 N). Low wear resistance of the coatings in contact with the counterbody of Al 2 O 3 is o b served. Keywords: Vacuum - arc deposition, H igh entropy al loys, Multilayer nitride coatings, P hysical and m e- chanical properties of coatings . СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ 1. X. Chu , M.S. Wong , W.D. Sproul, S.L. Rohde, S.A. Barnett , J. Vac. Sci. Technol . A10 , 1604 (1992). 2. S.F. Chen, Y. Ch. Kuo, Ch.J. Wang, S.H. Huang, J.W. Lee, Y.Ch. Chan, H.W. Chen, J.G. Duh, T.E. Hsieh, Surf. Coat. Technol. 231 , 247 (2013). 3. O . V . Sobol ', A . A . Andreev , S . N . Grigo riev , V . F . Gorban ', M.A. Volosova , S . N . Aleshin , S . V . Stolbovoy, Problem. Atomic Sci. Technol. 4(74), 174 (2011). 4. A . D . Pogrebnyak , O . V . Sobol ’, V . M . Beresnev , P . V . Turb in , S . N . Dub , G . V . Kirik , A . E . Dmitrenko , Tech. Phys. Lett. + 35 No 10, 925 ( 2009). 5. U.S. Nyemchenko, V.Ju. Novikov, O.V. Sobo’, S.S. Gra n- kin, E.M. Tulibiyev, A. Radko, J. Nano - Electron. Phys. 7 No 1, 01041 (2015). 6. U.S. Nyemchenko , V.M. Beresnev, O.V. Sobol, S.V. Lytovchenko, V.A. Stolbovoy, V.Ju. Novikov, А.А. Meyekhov, А.А. Postenyk, M.G. Kovaleva, Problem. Atomic Sci. Technol. 1(101), 112 (2016). 7. A.D. Pogrebnjak, A.A. Bagdasaryan, I.V. Yakushche n ko, V.M. Beresnev, Russ. Chem. R ev. 83 No 11, 1027 (2014). 8. U.S. Nyemchenko, V.Ju. Novikov, V.A. Stolbovoy, V.M. Beresnev, O.V. Sobol, Problem. Atomic Sci. Technol. 2(96), 139 (2015). 9. N.A. Azarenkov, O.V. Sobol, V.M. Beresnev, A.D. Pogrebnyak, D.A. Kolesnikov, P.V. Turbin, I.N. Toryanik, Metallofiz . Nov . Tekhnol . 35 No 8 , 1061 ( 2013 ) . 10. S.A. Firstov, V.F. Gorban, N.A. Krapivka, E.P. Pechko v- sky, Co m pos. Nanostructur . 2 , 5 (2011). 11. Y. Zhang, T.T. Zuo, Z. T ang, M.C. Gao, K.A. Dahmen, P.K. Liaw, Z.P. Lu, Prog. Mater . Sci. 61 , 1 (2014). 12. Н.К. Мышкин, М.И. Петроковец, Трение, смазка, и з нос. Физические основы и технические приложения триб о- логии, 368 (М: ФИЗМАТЛИТ: 2007) ( N . K . Myshkin , M . I . Petrokovets , Treniye , smazka , iz - nos . Fizicheskiye o s- novy i tekhnicheskiye prilozheniya tribologii , 368 ( M : FI Z- MA T LIT : 2007) ). 13. S.N. Grigoriev, O.V. Sobol, V.M. Beresnev, J . Friction Wea r 35 No 5, 359 (2014).

Приложенные файлы

  • pdf 3243583
    Размер файла: 511 kB Загрузок: 0

Добавить комментарий